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三菱PLC驅(qū)動(dòng)安川伺服電機(jī)抖動(dòng)，怎么解決？

我用的是三菱FX3U+1PG+觸摸屏控制安川伺服電機(jī)，將電機(jī)取下后，用觸摸屏給出單速定位指令后，無明顯抖動(dòng)，當(dāng)裝上機(jī)器上后再運(yùn)行，機(jī)器就開始抖動(dòng)，就像是有PLC輸出的脈沖不連續(xù)一樣，原本應(yīng)是勻速運(yùn)轉(zhuǎn)的機(jī)器，一直在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中抖動(dòng)。
但如果不用PLC控制，而是直接用安川伺服驅(qū)動(dòng)器自帶的JOG運(yùn)行（點(diǎn)動(dòng)），除了啟動(dòng)或停止瞬間由于無加減速引起的震動(dòng)外，其他時(shí)間運(yùn)行平穩(wěn)。
有高手知道是怎么回事嗎？麻煩幫我給點(diǎn)意見，多謝

以前我做過一個(gè)實(shí)驗(yàn)，同樣的PLC和指令，同樣用出廠默認(rèn)參數(shù)，都是750W低慣量。
伺服電機(jī)就平放著在桌子上，速度是1秒2圈，就只轉(zhuǎn)2秒共4圈。
三菱KFS73的不抖動(dòng)，很平穩(wěn)，安川的抖動(dòng)很明顯。

據(jù)說調(diào)節(jié)一些伺服上的參數(shù)可以讓抖動(dòng)減少，但估計(jì)和電機(jī)本身質(zhì)量有一定關(guān)系。