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工控人家園 程序樣例 用于半導(dǎo)體硅片擴(kuò)散源噴涂的設(shè)備程序

dayug

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樓主發(fā)表于: 2011-05-19 23:43

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一種用于半導(dǎo)體硅片擴(kuò)散源噴涂的設(shè)備程序。分XY軸，使用步進(jìn)電機。三菱PLC。

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hzhuang

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1樓發(fā)表于: 2011-05-20 11:28

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最好帶上圖紙。。。。。。。。。。。

工控人家園 程序樣例 用于半導(dǎo)體硅片擴(kuò)散源噴涂的設(shè)備程序

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